Katodik Ark Fiziksel Buhar Biriktirme (PVD)

Katodik Ark Fiziksel Buhar Biriktirme (PVD), İTÜ Surface Lab bünyesinde Yüzey İşlem Laboratuvarı altyapısının bir parçasıdır. Bu sayfa cihazın laboratuvar akışındaki yerini, hangi ölçüm veya proses adımlarını desteklediğini ve uygulamalı yüzey mühendisliği çalışmalarında neden önemli olduğunu özetler.

Pratikte bu cihaz; kaplama davranışını, proses kararlılığını, mikroyapısal yanıtı veya yüzey performansını kontrollü araştırma koşullarında karşılaştırmak için kullanılır. Amaç yalnızca cihazı listelemek değil, deney tasarımındaki ve sonuç yorumundaki rolünü açık biçimde göstermektir.

Aşağıdaki özet, meta kartları ve ayrıntılı içerik; cihazı gerçek laboratuvar sorularına bağlayacak şekilde düzenlenmiştir. Böylece birikim stratejisi, korozyon yanıtı, tribolojik performans, karakterizasyon derinliği ve proje-yayın çıktılarındaki kullanım bağlamı daha net görünür.

Katodik ark PVD sistemi, sert ve aşınma direnci yüksek kaplamaların biriktirilmesinde kullanılır.

Kategori
Yüzey İşlem Laboratuvarı

Teknik Özellikler

Güç
5 kW
Vakum
10⁻⁶ mbar
Kamara Boyutu
Ø500 × 500 mm
Substrat Sıcaklığı
RT – 600 °C
Bias Voltajı
0 – 1200 V

İlgili Cihazlar