FIB - Odaklanmış İyon Demeti

FIB sistemi, mikroyapı hazırlama, kesit alma ve yüksek hassasiyetli yüzey düzenleme çalışmaları için kullanılır.

Kategori
Karakterizasyon Laboratuvarı

             

Cihaz FIB - Odaklanmış İyon Demeti
Marka JEOL JEM-9320FIB

Ozellikler
Ion Source Ga liquid-metal source
Acc. Voltage 5 to 30 kV (5kV step variable)
Magnification ×150 to ×300,000 (LOW MAG ×50)
Max.Current 30nA
Best image resolution 6nm (@30kV, WD30mm)
Tilt angle ±60°
Sample movement X Y ±1.2mm

İlgili Cihazlar